非接触式显微镜

Union

日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..

■ 产品优势：

◎ 高精度的图像自动聚焦系统的测量结果和精确度是很可靠的，没有人为的因素。

◎ 通过电脑控制，可以完成多点的自动连续测量，高级的资料处理软体可以极大的提高测量时间。

功能：非接触测量微细的撞击、台阶等。

◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚焦指示器完成高精确的测量

◎ 简单的操作

◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm

◎ 同时还可以完成测量点的表面观察观测头：三目 Z轴测量范围： 0.1μm 读数，10mm 行程 Z轴测量精度： 3σ=1μm (40×) 光学镜身：精确的自动聚焦单元物镜： 5× - 100× 测量软体： 4种模式资料处理软体：显示最大值，最小值，平均值，标准偏差值等

应用领域
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CT（可选项）

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